Openair-Plasma®プロセスモニタリング

Openair-Plasma®システムは、99%以上の稼働率を達成しており、プラズマトリート社のお客様に最大限のプロセス能力をご提供することができます。 またOpenair-Plasma®ノズルには、三重プロセスモニタリング装置を設置することができます。そのため、システムの機能停止に素早く効果的に対応し、防止することができます。

傑出したプロセス能力を実現

光学モニタリング/管理: 均一な高品質のプラズマを維持するには、発生したプラズマ流のスペクトルを連続的にモニタリングする必要があります。プラズマノズルに内蔵したセンサーを1チャネル光学検出システムの一部として使用し、プラズマからの発光を測定します。測定後、発光に関連するスペクトル範囲の振幅評価を連続的に行います。このモニタリングはプラズマの発生の有無とは無関係に実施するものです。このモニタリングはプラズマの発生の有無とは無関係に実施するものです。それにより、プラズマのプロセスパラメーターについて信頼性の高いデータを得ることができます。

移動制御装置/モニタリング: プラズマ強度や実効距離の他にも、プラズマノズルの移動速度・回転速度が処理の品質を決定する重要な基準となります。プラズマトリート社のシステムでは、移動制御システムを利用し、プロセス稼働の信頼性と高い製造プロセス信頼性を確保しています。

媒体供給制御: プロセス固有のプラズマパラメータ(温度、強度)を確実に再現するためには、媒体の供給を制御する必要があります。プラズマトリート社では、小型コントローラーによる制御を行うフロー測定装置など、必要な全てのモニタリング装置をご用意しています。

インダストリー4.0対応 - 製造工程のデジタル化用 

再現可能なプロセスシーケンス、高いシステム信頼性、低い製造公差、堅牢な品質基準、データに裏打ちされた自動化 - これらの仕様は、的を絞ったプロセス制御によってのみ達成できます。プラズマトリート社は、デジタル化された生産プロセスをサポートし、標準化された最先端技術に基づく、オープンで相互運用可能かつフレキシブルな接続により、必要なシステム部品を提供します。

プラズマコントロールユニット(PCU)は、プラズマノズルを制御・監視するために設計されています。プロセスデータはEtherCAT/CANopen経由で送信されます:PCUはCANopen経由でジェネレーターに接続されています。その他のケーブルは制御用とプラズマノズルへのエネルギー伝達用に使用されます。統合変圧器(HTR)は、ノズルの運転に必要な高電圧を供給します。

PCU制御機能

  • プロセスガス流量の制御 (フローコントロールモジュール - FCM) 動的圧力測定 (プレッシャーコントロールモジュール - PCM) モーター速度-電流-電圧制御 (ローテーションコントロールモジュール - RCM) オプション:プラズマ出力制御

モニタリング機能

  • プラズマの目視検査 (ライトコントロールモジュール - LCM) プラズマ出力の制御/HTR出力の測定 (プラズマ出力測定 - PPM) ノズルへのプロセスガス流量の制御 (フローコントロールモジュール - FCM) 回転モニタリング (ローテーションコントロールモジュール - RCM) 動的圧力モニタリング (プレッシャーコントロールモジュール - PCM)

お客様の素材に当社の製品をテストしたいですか?

ぜひお試しください:お客様の用途に最適なソリューションを見つけるため、私たちの経験豊富なアプリケーションエンジニアがお手伝いいたします。当社の設備の整った研究所で、お客様の個々の部品を当社のプラズマ技術で前処理し、その結果を分析します。