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低圧プラズマ装置 Aurora Plus

オーロラプラスは、薄膜プラズマコーティングのためのプラットフォームです。プラズマ・エンハンスト・ケミカル・ベーパー・デポジション（PECVD）により、低CoF、親水性、疎水性などのコーティングオプションや特性を実現します。

このため、自動車産業、医療機器技術、シーリングシステム製造など、多くの応用分野に適したプロセスとなっている。厳密なプロセス制御とレシピ保存システムにより、工業用連続生産だけでなく、研究開発用途においても確実な処理が可能です。

先進プラズマ成膜用オーロラ・プラス・システム
タッチスクリーンディスプレイによるフルプロセス制御

主な特長


オーロラ・プラス・システム

  • 複雑な部品を均一に処理するための完全な一次プラズマ浸漬
  • 複数の棚や大きな部品を処理するための独自の側壁電極
  • チャンバー寸法： 21.5「 x 15.74」 x 16.5"
  • 厳密なプロセス制御のためのタッチスクリーンディスプレイ付きPLC制御
  • パスワード保護下のプロセスレシピ保存
  • 正確なガスフローとミキシングのための複数のマスフローコントローラ
  • 1000ワット、13.56 RFジェネレータと自動マッチネットワーク
  • 熱制御液体プリカーサ供給機能の追加
  • ジェネレータパルスオプション
  • 加熱チャンバーオプション

あなたの素材に当社の製品を試してみませんか？

ぜひお試しください： 当社の経験豊富なアプリケーションエンジニアが、お客様の使用ケースに最適なソリューションをご提案いたします。当社の設備の整ったラボで、当社のプラズマ技術を使って個々の部品を前処理し、結果を分析します。
 

 

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