光学モニタリング (分光監視)：
均一で安定したプラズマ品質を維持するため、発生したプラズマ流を分光測定により連続監視します。プラズマノズルに内蔵されたセンサーが、1チャネル光学検出システムの一部としてプラズマの発光を測定し、発光スペクトルの該当領域における信号強度を常時評価します。このモニタリングはプラズマ生成とは独立して実施され、プラズマのプロセスパラメータを高い信頼性で把握することが可能です。
ノズル動作の監視・制御：
プラズマ強度や処理距離に加え、プラズマノズルの移動速度および回転速度は処理品質を左右する重要な要素です。プロファイル材、シート材、紙器ブランクなどを処理するシステムには、安全な工程シーケンスと高い生産信頼性を確保するモーションコントロールシステムが搭載されています。
プロセスガス供給の監視・制御：
再現性の高いプロセス条件 (温度・プラズマ強度) を確保するためには、プロセスガス供給を適切に制御することが不可欠です。プラズマトリートでは、マイクロコントローラ制御の流量測定装置をはじめ、用途に応じた各種モニタリングユニットを提供しています。
Industry 4.0に対応したデジタル製造プロセス向け設計
再現性の高い工程シーケンス、高いシステム信頼性、厳しい製造公差、安定した品質基準、そしてデータに基づく自動化は、適切なプロセス制御によって実現されます。プラズマトリートは、デジタル化された生産プロセスを支援し、標準化された最新技術に基づくオープンかつ相互運用可能で柔軟な接続により、必要なシステム構成機器を提供しています。
プラズマコントロールユニット (PCU) は、プラズマノズルの制御および監視を目的として設計されています。プロセスデータはEtherCAT／CANopenを介して送信され、PCUはCANopen経由でジェネレーターに接続されます。その他のケーブルは、制御信号の伝送およびプラズマノズルへの電力供給に使用されます。統合変圧器 (HTR) は、ノズルの運転に必要な高電圧を供給します。
