高出力FG5002S/5005Sジェネレーター:モニタリング機能、診断機能、サービス機能が実現する最高レベルの稼働率

最高の性能を備えたプラズマジェネレーター FG5000シリーズは、最新の半導体技術と数多くのセンサーを組み合わせ、最高の使いやすさを実現しています。プラズマチャンバー内の圧力、電流、電圧、周波数を監視する一体型アナログモニターを使用し、プラズマからの発光分析を行うことによって、プロセス信頼性を最大限に高めています。

プラズマジェネレーターの制御を行うタッチスクリーンコントロールパネルには、使いやすく、判りやすい設計が施されています。このパネルには、シグナルチェーン機能付の高レベル・低レベル制御装置が組み込まれています。

プラズマトリート社では、性能や出力レベルの異なる各種プラズマジェネレーターをご用意しています

Sシリーズ:豊富な一体型プロセス制御装置

標準的な
用途

  • 完全なシステムへの統合 高度な環境条件下での複数シフト運転に最適 広範なプロトコル機能が必要な産業用途 ロボット支援生産システム

主な機能

  • デジタル高周波プラズマジェネレーター、統合マイクロコントローラーによるシステム制御、出力制御タッチスクリーンコントロールパネルによる、ステータスおよび故障メッセージの表示と人間工学に基づいた操作統合済みのサービスマニュアル出力:2kVA (FG5002) または5kVA、最大4個または8個のプラズマノズル用 電圧供給3x 400V 動作温度範囲:摂氏0~40度 制御盤内へのサービス専用設置 最大限のプロセス信頼性と再現性のための広範なモニタリング機能