FG5002S／FG5005S 高出力Openair-Plasma®ジェネレーター ― 監視・診断・サービス機能で高稼働率を実現
ジェネレーター5000シリーズは、最新の半導体技術と多彩なセンサー、高い操作性を兼ね備えた高性能Openair-Plasma®ジェネレーターです。プラズマノズルの内圧・電流・電圧・周波数を一体型アナログモニタリングで監視し、さらにプラズマ発光の光学解析も組み合わせることで、プロセス信頼性を高めます。
ジェネレーター制御用のタッチスクリーン操作パネルは、見やすく分かりやすい設計です。上位／下位の制御機器との信号連携 (シグナルチェーン) 機能も統合されています。
