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FG5001S Openair-Plasma® デジタルジェネレーター

デジタルプロセッサー制御の低周波プラズマジェネレーター FG5001Sは、量産ラインでの使用に適したモデルです。IGBT半導体アンプを標準搭載し、Openair-Plasma®(オープンエアープラズマ) システムを制御します。最大2本のプラズマノズルの同時運転に対応し、EtherCAT接続により既存設備へもスムーズに組み込めます。

高い処理性能と精密なプラズマ出力制御を両立し、制御・診断機能に加えて、プラズマ処理データを包括的に表示できます。PLCを内蔵しており、連続運転中のリモート保守にも対応します。

コンパクト設計でありながら高い稼働率を実現し、メンテナンス間隔も長く保てます (使用環境により異なります)。操作性を重視したタッチパネル式コントロールパネルを採用し、直感的に操作できます。

主な機能

  • プラズマの強度・濃度を手動で調整できる内蔵出力制御
  • 電圧・電流・周波数などの運転パラメータ設定、エラー／ステータス通知の表示に対応した多言語タッチスクリーン
  • 装置内／外部からの操作に対応するカスタマーインターフェースおよびバスシステム
  • 外部非常停止回路との統合に対応する各種インターフェース
  • トランス、プラズマノズル、周辺機器用のプラグ式コネクタ
  • PCU (プラズマコントロールユニット) で使用するための、プラズマ出力、体積流量、プロセスガス流量、モーター回転数、動的圧力データの伝送

プラズマ処理評価テスト


実機による評価テストをご提供しています。お客様の用途や要件に応じた最適なソリューションの検討を、経験豊富なアプリケーションエンジニアがサポートします。

設備の整った当社ラボにて、お客様の部品・材料をプラズマ処理し、その処理効果を評価・分析します。リモートでのご参加や装置レンタルにも対応しています。
 

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