RD1010 ― 平坦な大面積部品やフィルムへのプラズマ前処理に対応する回転ノズルユニット

RD1010は、平坦で熱の影響を受けやすい部品やフィルムの表面前処理に適したOpenair-Plasma^®(オープンエアープラズマ) 回転ノズルユニットです。プラズマ処理は、共通の回転軸を中心に円を描くように回転する2本のシングルノズルによって行われます。回転ユニットから照射されるプラズマは、回転軸と平行に照射されます。

この回転機構により、部品やフィルムに対して高い相対速度でプラズマ処理を行うことができます。そのため、熱影響を抑えながら、広いプロセスウィンドウで均一な表面処理を実現します。RD1010は、回転速度や処理径に応じて、最大50 m/分の処理速度に対応します。