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低圧プラズマシステム Aurora Standard

Aurora Standardは、複雑形状部品の洗浄と表面活性化に適した低圧プラズマシステムです。チャンバー内で部品全体を一括して処理する方式と独自の側壁電極により、複数段に配置した部品や大型部品にも、均一で安定した表面処理を行えます。

このシステムによる表面処理は、主に電子部品や医療機器の製造工程で使用されます。PLC制御により、厳密なプロセス管理と監視を行えるほか、処理条件の保存にも対応しているため、量産用途から研究開発用途まで幅広く活用できます。

タッチスクリーンを備えたAurora Standardシステム
Aurora Standardシステムのプラズマチャンバー内部

主な特長  

Aurora Standard

  • 複雑形状部品の均一処理を実現するチャンバー内プラズマ処理
  • 複数段に配置した部品や大型部品にも対応する独自の側壁電極
  • チャンバー寸法：21.25インチ×15.74インチ×16.5インチ (約540 mm×400 mm×419 mm)
  • タッチスクリーン付きPLC制御による厳密なプロセス管理
  • パスワード保護による処理条件の保存
  • 複数のマスフローコントローラによる高精度なガス流量制御とガス混合
  • 1000 W・13.56 MHzのRF電源と自動整合回路

プラズマ処理評価テスト


実機による評価テストをご提供しています。お客様の用途や要件に応じた最適なソリューションの検討を、経験豊富なアプリケーションエンジニアがサポートします。

設備の整った当社ラボにて、お客様の部品・材料をプラズマ処理し、その処理効果を評価・分析します。リモートでのご参加や装置レンタルにも対応しています。
 

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