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低圧プラズマ装置オーロラLC (大容量)

オーロラLCは、複雑な部品の重要で均一なクリーニング、活性化、薄膜コーティングのための大容量プラズマ装置です。前面ドアは全幅開で、チャンバー内部は広々としているため、部品のサイズや固定方法に柔軟に対応できます。

このシステムの表面処理プロセスは、主に航空宇宙、自動車、医療機器の処理に使用されます。PLC制御により、高度なプロセス制御とモニタリングが可能です。また、プロセスレシピの保存も可能で、大規模な研究開発用途だけでなく、工業用連続生産にも多用途に使用できます。

複雑で大きな部品の表面処理用オーロラLC

フロントドアがフルワイドに開くオーロラLC

主な特長

オーロラLCシステム

複雑で大きな部品の均一な処理のための完全な一次プラズマ浸漬
チャンバー内部は部品サイズと固定具の柔軟性を可能にします
自動化オプションを備えた全幅開口フロントドア
重要なプロセス制御のためのタッチスクリーンディスプレイ付きPLC制御
システム制御：自動/手動操作
パスワード保護下のプロセスレシピ保存
チャンバー寸法： 77「 w x 56 」d x 30 "h
複数のマスフローコントローラーによる正確なガスフローとミキシング
3000ワット、13.56 RFジェネレーターと自動マッチングネットワーク

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ぜひお試しください：当社の経験豊富なアプリケーションエンジニアが、お客様の使用ケースに最適なソリューションをご提案いたします。当社の設備の整ったラボで、当社のプラズマ技術を使って個々の部品を前処理し、結果を分析します。

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