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低圧プラズマシステム Aurora LC (Large Capacity)

Aurora LCは、複雑形状部品の高精度かつ均一な洗浄、表面活性化、薄膜コーティングに対応する大容量の低圧プラズマシステムです。前面開口部を広く確保したフロントドアと広いチャンバー内部により、さまざまな部品サイズや治具に柔軟に対応できます。

このシステムによる表面処理は、主に航空宇宙、自動車、医療機器などの分野における製造工程で使用されます。PLC制御により高度なプロセス管理と監視が可能なほか、処理条件の保存にも対応しているため、量産用途から大規模な研究開発用途まで幅広く活用できます。

主な特長

Aurora LC

  • 複雑形状部品や大型部品の均一処理を実現するチャンバー内プラズマ処理
  • 部品サイズや治具に柔軟に対応できるチャンバー内部
  • 自動化オプション付き全幅開口フロントドア
  • タッチスクリーン付きPLC制御による厳密なプロセス管理
  • 自動/手動運転に対応するシステム制御
  • パスワード保護による処理条件の保存
  • チャンバー寸法:77インチ×56インチ×30インチ (約1,956 mm×1,422 mm×762 mm)
  • 複数のマスフローコントローラによる高精度なガス流量制御とガス混合
  • 3000 W・13.56 MHzのRF電源と自動整合回路
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