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低圧プラズマシステム Aurora Plus

Aurora Plusは、薄膜プラズマコーティングの成膜に対応する低圧プラズマシステムです。PECVD (プラズマCVD) により、低摩擦 (低CoF)、親水性、疎水性などの機能性コーティングを形成できます。

そのため、自動車、医療機器、シーリングシステム製造など、さまざまな分野の機能性コーティングに適しています。厳密なプロセス管理と処理条件の保存により、量産用途のみならず、研究開発用途でも安定した処理を実現します。

主な特長

Aurora Plus

  • 複雑形状部品の均一処理を実現するチャンバー内プラズマ処理
  • 複数段に配置した部品や大型部品にも対応する独自の側壁電極
  • チャンバー寸法:21.5インチ×15.74インチ×16.5インチ (約546 mm×400 mm×419 mm)
  • タッチスクリーン付きPLC制御による厳密なプロセス管理
  • パスワード保護による処理条件の保存
  • 複数のマスフローコントローラによる高精度なガス流量制御とガス混合
  • 1000 W・13.56 MHzのRF電源と自動整合回路
  • 温度制御対応の液体プリカーサー供給機能 (オプション)
  • ジェネレーターパルス機能 (オプション)
  • 加熱チャンバー (オプション)
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