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저압 플라즈마 시스템 오로라 플러스

Aurora Plus는 박막 플라즈마 코팅의 고급 증착을 위한 플랫폼입니다. 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)을 통해 낮은 CoF, 친수성 및 소수성 코팅과 같은 코팅 옵션과 특성을 구현할 수 있습니다.

따라서 자동차 산업, 의료 기기 기술, 씰링 시스템 제조 등 다양한 응용 분야에 적합한 공정입니다. 시스템의 엄격한 공정 제어 및 레시피 저장은 산업 양산은 물론 R&D 응용 분야에서도 안전한 공정을 보장합니다.

고급 플라즈마 증착을 위한 오로라 플러스 시스템
터치스크린 디스플레이를 통한 완벽한 프로세스 제어

주요
기능 

오로라 플러스 시스템용

  • 복잡한 부품의 균일한 처리를 위한 완벽한 1차 플라즈마 침지
  • 여러 선반 또는 대형 부품 처리를 위한 고유한 측면 벽 전극
  • 챔버 치수: 21.5“ x 15.74” x 16.5"
  • 정밀한 공정 제어를 위한 터치스크린 디스플레이가 있는 PLC 제어
  • 암호 보호를 통한 공정 레시피 저장
  • 정밀한 가스 흐름 및 혼합을 위한 다중 질량 흐름 컨트롤러
  • 1000와트, 13.56 RF 발생기 및 자동 매칭 네트워크
  • 열 제어 액체 전구체 전달 추가
  • 발전기 펄싱 옵션
  • 가열된 챔버 옵션

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