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Aurora 低圧プラズマシステム

Aurora低圧プラズマシステムは、洗浄・表面活性化・コーティングなどの表面処理を、お客様のニーズに合わせて柔軟にカスタマイズでき、高い処理効果を実現します。

産業用途のさまざまな生産要件に対応するため、Auroraシリーズは複数のサイズと各種オプションを用意しています。小ロット生産向けの卓上型ユニットから、航空宇宙・自動車分野における複雑な部品の処理に対応する大型チャンバーシステムまで、用途に応じて選択できます。

Aurora Standard

表面の洗浄・活性化に対応する、独自の側壁電極を採用した低圧プラズマチャンバーシステム

Aurora Plus－プラズマCVDコーティング対応

表面活性化と洗浄に加え、プラズマCVDによる機能性コーティングに対応した低圧プラズマチャンバーシステム

Aurora LC－大容量システム

表面活性化・洗浄・プラズマCVDによる機能性コーティングに対応し、大型部品や複雑形状部品の処理に適した大容量チャンバーシステム

プラズマ処理評価テスト

実機による評価テストをご提供しています。お客様の用途や要件に応じた最適なソリューションの検討を、経験豊富なアプリケーションエンジニアがサポートします。

設備の整った当社ラボにて、お客様の部品・材料をプラズマ処理し、その処理効果を評価・分析します。リモートでのご参加や装置レンタルにも対応しています。
▶ 材料評価テストの詳細はこちら
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