表面改質
フレキシブル基板は、PET・PEN・PI・PDMSといった樹脂材料で構成されることが多く、表面エネルギーが低いため、薄膜やインクが密着しにくいという課題があります。プラズマ処理は、基材を損なうことなく表面特性を効果的に改質します。
主な用途
- 表面活性化：酸素やエアを用いたプラズマにより、–OHや–COOHなどの極性官能基を導入し、濡れ性と接着性を向上させます。
- 表面洗浄：樹脂表面に残留する有機汚染物質やモノマー残渣を除去します。
- エッチング／微細表面加工：O₂、Ar、CF₄などのプラズマエッチングによりナノスケールの微細凹凸を形成し、コーティングの機械的密着を高めます。
主な効果
- 金属薄膜や各種酸化物薄膜、導電性インクの密着性が向上します。
- インクジェット印刷やスクリーン印刷によるプリンテッドエレクトロニクスの印刷品質が向上します。
