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저압 플라즈마 시스템 Aurora LC(대용량)

Aurora LC는 복잡한 부품의 중요하고 균일한 세척, 활성화 및 박막 코팅을 위한 대용량 플라즈마 시스템입니다. 전면 도어가 전폭으로 열리고 챔버 내부가 넓어 부품 크기와 고정 장치를 유연하게 조정할 수 있습니다.

시스템 표면 처리 공정은 주로 항공우주, 자동차 및 의료 기기 가공에 사용됩니다. PLC 제어는 고급 공정 제어 및 모니터링을 보장합니다. 공정 레시피 저장소와 함께 산업 시리즈 생산은 물론 대규모 R&D 애플리케이션을 위한 다용도 도구로 사용할 수 있습니다.

복잡하고 큰 부품의 표면 처리를 위한 Aurora LC
전면 도어가 전폭으로 열리는 오로라 LC

주요
기능

오로라 LC 시스템용

  • 복잡하고 큰 부품의 균일한 처리를 위한 완벽한 1차 플라즈마 침지
  • 챔버 내부로 부품 크기 및 고정의 유연성 제공
  • 자동화 옵션을 갖춘 전폭 개방 전면 도어
  • 중요한 공정 제어를 위한 터치스크린 디스플레이가 있는 PLC 제어
  • 시스템 제어: 자동/수동 작동
  • 비밀번호 보호 하에 공정 레시피 저장
  • 챔버 치수: 77“ w x 56”d x 30"h
  • 정밀한 가스 흐름 및 혼합을 위한 다중 질량 유량 컨트롤러
  • 3000 와트, 13.56 RF 발생기 및 자동 매치 네트워크

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