FG5002S/5005S型大功率发生器 – 利用监控、诊断和维护功能实现最高可用性

5000 系列发生器结合了最新半导体技术和传感器技术,性能优异,十分便于使用。通过模拟监控等离子体腔室内的压力、电流、电压和频率,以及分析等离子体的发射光,获得 最高等级的工艺可靠性。 

设备采用用户界面友好的触摸屏操控,和上下游设备进行控制联动所需的通信模块集成在内。

不同型号的等离子发生器具有不同的性能和功率输出级别

S系列;全面集成工艺控制功能

典型
应用

  • 集成到成套系统中适合于严苛环境条件下的多轮班运行需要扩展协议功能的工业应用支持机器人的生产系统

主要特点

  • 数字式高频等离子体发生器,通过内置的微处理器控制系统和功率触摸屏控制面板用来显示状态与故障消息,操作符合人体工学设计联机维护手册功率输出:2kVA (FG5002)或5kVA,最多可驱动四个或甚至八个等离子体喷枪 电源电压:3x 400V 工作温度范围:0-40°C 维护专业设备安装在控制柜内全方位监控功能,确保获得最高的工艺可靠性和可重复性