Niederdruck-Plasmasystem Aurora Plus

Aurora Plus ist eine Plattform für die fortschrittliche Abscheidung von Dünnfilm-Plasmabeschichtungen. Die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) ermöglicht Beschichtungsoptionen und Eigenschaften wie niedrige CoF, hydrophile und hydrophobe Beschichtungen.

Dies macht es zu einem geeigneten Verfahren für zahlreiche Anwendungsbereiche, z. B. in der Automobilindustrie, der Medizintechnik und der Herstellung von Dichtungssystemen. Die strenge Prozesskontrolle und Rezepturspeicherung des Systems gewährleisten eine sichere Verarbeitung sowohl in der industriellen Serienproduktion als auch in F&E-Anwendungen.

 

VORTEILE UND
EIGENSCHAFTEN

des Aurora Plus Systems

  • Vollständige primäre Plasmabehandlung für die gleichmäßige Behandlung komplexer Teile
  • Einzigartige Seitenwandelektroden für die Behandlung auf mehreren Etagen oder größerer Teile
  • Kammer-Abmessungen: 21,5" x 15,74" x 16,5"
  • PLC-Steuerung mit Touchscreen-Display für genaue Prozesskontrolle
  • Speicherung von Prozessrezepten unter Passwortschutz
  • Mehrere Massendurchflussregler für präzisen Gasfluss und Mischen
  • 1000 Watt, 13,56 RF-Generator und automatisches Anpassungsnetzwerk
  • Zusätzliche thermisch gesteuerte Zufuhr von flüssigen Ausgangsstoffen
  • Option für pulsierenden Generator
  • Option für beheizte Kammer